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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND WAFER USED THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH08167586(A) 申请公布日期 1996.06.25
申请号 JP19940312143 申请日期 1994.12.15
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD 发明人 SHIRAI YOSHIFUMI;SUZUMURA MASAHIKO;MAEDA MITSUHIDE;HAYAZAKI YOSHIKI;MURAYAMA YORINOBU;KISHIDA TAKASHI;TAKANO KIMIJI
分类号 H01L21/66;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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