| 发明名称 |
FINE PATTERNING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR960013504(B1) |
申请公布日期 |
1996.10.05 |
| 申请号 |
KR19900017013 |
申请日期 |
1990.10.24 |
| 申请人 |
TOSHIBA KK |
发明人 |
YOSHIDA, YUKIMASA;HASEGAWA, ISAHIRO |
| 分类号 |
H01L21/3213;G03F7/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/312 |
主分类号 |
H01L21/3213 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
