| 主权项 |
1. 在有关半导体装置制造设备用之复数个格子中,其系由具有一定矩形面积及厚度之格子重复排列而成,该格子具有:一包含一凹处之框部,其凹处之顶面积系小于或等于该框的顶面积,在顶面下之预定深度处,该框包括一较凹处小之开口,以便在该凹处形成一阶梯部位;及,一透明板系置入于该凹处并由该阶梯部位所支撑。2. 依申请专利范围第1项所述之格子,其中,该框部系由不锈钢所制成,该透明板系为一抗静电塑胶。3. 依申请专利范围第1项所述之格子,其中,该透明板系由聚氯乙烯或压克力树脂所制成。4. 依申请专利范围第1项所述之格子,其中,该框部及该透明板之顶面积系位于同一高度。5. 依申请专利范围第1项所述之格子,其中,该格子系只在地板中需要之部份才装设。图示简单说明:第1图系一清净室地板之部份切开之立体图,并显示出习用技艺之复数个格子之装设。第2图系第1图中沿A-A线之放大剖视图。第3图系一清净室地板之部份切开之立体图,并显示出本发明之复数个格子之装设。及 |
