发明名称 |
METHOD FOR EVALUATING RELIABILITY OF INSULATING FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09330968(A) |
申请公布日期 |
1997.12.22 |
申请号 |
JP19960150611 |
申请日期 |
1996.06.12 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
YAMADA TAKAYUKI;ERIGUCHI KOUJI;KOSAKA YUKIKO |
分类号 |
G01R31/26;H01L21/66;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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