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发明名称 APPARATUS FOR LPCVD
摘要
申请公布号 KR0116279(Y1) 申请公布日期 1998.04.18
申请号 KR19940017107U 申请日期 1994.07.11
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD 发明人 KOONG, WON-KYUNG
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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