| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR FORMING FILM ON PANEL SURFACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10199412(A) |
申请公布日期 |
1998.07.31 |
| 申请号 |
JP19970006123 |
申请日期 |
1997.01.17 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI DEVICE ENG CO LTD |
发明人 |
TAKACHIO FUMIYOSHI;MIYAKE AKIRA |
| 分类号 |
H01J9/20;(IPC1-7):H01J9/20 |
主分类号 |
H01J9/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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