发明名称 Method for forming metal line of semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100664339(B1) 申请公布日期 2007.01.02
申请号 KR20000086038 申请日期 2000.12.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址