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发明名称 METHOD FOR PATTERNING INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPH10256370(A) 申请公布日期 1998.09.25
申请号 JP19970059117 申请日期 1997.03.13
申请人 SONY CORP 发明人 HONDA KENICHIRO
分类号 H01L21/768;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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