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发明名称
摘要
申请公布号 JP2845064(B2) 申请公布日期 1999.01.13
申请号 JP19920323882 申请日期 1992.12.03
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 HAYASHI JUN
分类号 H01L21/205;C23C16/44;C30B25/08;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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