| 摘要 |
기체 치환 장치의 배기를 확실하게 실행할 수 있다. 기체 치환 장치(1)는, 용기 본체(2), 치환 가스 공급관(3), 기체 배출관(4), 액체 공급관(5), 액체 배출관(6)을 구비한다. 용기 본체 내벽에는, 링상의 정류판(11 내지 13)이 설치되어 있다. 기체 배출관(4)은, 최상단의 정류판(11)의 이면 바로 밑에 흡입구(4a)를 면하게 하도록, 측벽을 관통하여 수평으로 들어간다. 액체 공급관(5)의 상부에는, 위로 볼록한 만곡면을 갖는 만곡판에 의해 구성된 차폐 부재(7)가 설치되고, 치환 가스 공급관(3)은, 천장부 중앙으로부터 삽입되어, 차폐 부재(7)의 상면 중심에 토출구(3a)를 면하게 하도록 설치된다. |
