光阻涂布装置

摘要

一种光阻涂布装置主要包含有一旋转基台，其具有一水平承座用以放置晶圆，及一垂直于该水平承座的中心轴，用以旋转该水平承座并抽气吸附该晶圆；以及一可转动式机械手臂，带动一输送光阻液的管路，该管路具有至少一喷嘴以喷出光阻液。本创作之特征在于：该至少一喷嘴具有一折角，使其末端呈一铅直状态，藉此经由该至少一喷嘴所喷出之光阻液可确实落于该晶圆的中心点，而于旋转扩散后形成一均匀光阻薄膜。

主权项

1.一种光阻涂布装置,其包括:一旋转基台,其具有一水平承座用以放置晶圆,及一垂直于该水平承座的中心轴,用以旋转该水平承座并抽气吸附该晶圆;以及一可转动式机械手臂,带动一输送光阻液的管路,该管路具有至少一喷嘴以喷出光阻液;其特征在于该至少一喷嘴具有一折角,使其末端呈一铅直状态,藉此经由该至少一喷嘴所喷出之光阻液可确实落于该晶圆的中心点,而于旋转扩散后形成一均匀光阻薄膜。2.如申请专利范围第1项所述的装置,其中该至少一喷嘴之材质是不锈钢。3.如申请专利范围第1项所述的装置,其中该至少一喷嘴喷出光阻液之一端更包含有一塑胶接头。图式简单说明:第一图A是习知一种光阻涂布装置部份正面图。第一图B是第一图A的部份放大图。第二图是根据本创作的一种光阻涂布装置正面图。