| 摘要 |
<p>본 발명은 플렉서블 볼그리드어레이 반도체패키지용 노광장치의 필름이송장력 조절장치에 관한 것으로, 더욱 상세히 설명하면 노광용 필름이 감긴 공급 롤(roll)로부터 노광장치로 필름을 공급할 때 및 노광장치로부터 배출되는 필름을 다시 권취 롤에 감을 때 즉, 노광장치의 필름노광위치 전,후 소정 위치에서 공압을 이용한 노즐장치로 필름장력을 조절하는 필름이송장력조절장치에 관한 것이다. 본 발명의 플렉서블 볼그리드어레이 반도체패키지용 노광장치의 필름이송장력 조절장치는 이송되는 필름의 상면에 소정압력의 유체를 분사하기 위해 상부 지지판에 설치된 노즐과, 상기 노즐에 대응하여 하측에 설치되며 노즐로부터 분사된 유체압력에 의해 만곡되는 필름의 위치를 감지하는 센서로 구성된 것을 특징으로 한다. 상기와 같이 구성된 본 발명의 필름이송장력 조절장치는 노광필름을 노광장치의 소정위치에 위치에 유지시키는 것을 보조하도록 노광장치의 전,후 소정위치에 설치되어 노광장치의 노광부로 공급되고 노광부에서 배출되는 플렉서블 볼그리드어레이 패키지용 필름의 장력조절이 신속하고 용이하게 이루어지게 하는 효과를 갖는다.</p> |
