发明名称 METHOD OF FABRICATING COPPER INTERCONNECTIONS IN SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 KR20020074216(A) 申请公布日期 2002.09.28
申请号 KR1020027009687 申请日期 2002.07.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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