| 主权项 |
1.一种光强度测定装置,系测定会放射中心波长172nm光之氙准分子灯的光强度之光强度测定装置,其特征为具备:光电转换元件,其感光灵敏度是在800-1000nm范围者。2.如申请专利范围第1项之光强度测定装置,其系再具备:运算手段,可按照上述光电转换元件的输出,以相对的求出中心波长172nm的光的强度;和,通知手段,可发出上述运算手段所求出的光的强度的通知者。3.如申请专利范围第1项之光强度测定装置,其中上述运算手段系按照在于800-1000nm范围的光谱之光强度积分値,以相对的求出上述中心波长172nm的光的强度者。4.如申请专利范围第2项之光强度测定装置,其中上述运算手段系按照在于800-1000nm范围的光谱之光强度积分値,以相对的求出上述中心波长172nm的光的强度者。5.如申请专利范围第1-4项中任一项之光强度测定装置,其系再具备有滤光片,可将要输入于上述光电转换元件的800nm以下的光遮断者。6.如申请专利范围第1-4项中任一项之光强度测定装置,其中,上述光电转换元件是光二极体者。7.如申请专利范围第5项之光强度测定装置,其中,上述光电转换元件是光二极体者。8.一种紫外线照射装置,包含:会放射中心波长172nm光之氙准分子灯;和,申请专利范围第1-7项中任一项之光强度测定装置;而,由该光强度测定装置以测定上述氙准分子灯所发出的光的强度之构成者。9.一种点灯检测装置,其系在要检测会放射中心波长172nm的光的氙准分子灯为点灯或熄灯,其特征为具备:其感光灵敏度是在800-1000nm范围之光电转换元件者。10.如申请专利范围第9项之点灯检测装置,其系再具备:比较手段,可将上述光电转换元件的输出与所定的基准値加以比较,以判定氙准分子灯为点灯或熄灯;和,通知手段,按照上述比较手段的判定结果,以发出氙准分子灯为点灯或熄灯的通知者。11.如申请专利范围第9项之点灯检测装置,其系再具备滤光片,可将要输入于上述光电转换元件的800nm以下的光遮断者。12.如申请专利范围第10项之点灯检测装置,其系再具备滤光片,可将要输入于上述光电转换元件的800nm以下的光遮断者。13.如申请专利范围第9至12项中任一项之点灯检测装置,其中,上述光电转换元件是光二极体者。14.一种紫外线照射装置,包含:会放射中心波长172nm的光之氙准分子灯;和,申请专利范围第9至13项中任一项之点灯检测装置;而,由该点灯检测装置以检测上述氙准分子灯为点灯或熄灯之构成者。15.一种紫外线照射装置,包含:会放射中心波长172nm的光之氙准分子灯;申请专利范围第1至7项中任一项之光强度测定装置;和,申请专利范围第9至13项中任一项之点灯检测装置;而,由上述光强度测定装置测定来自上述氙准分子灯的光的强度,并由上述点灯检测装置检测上述氙准分子灯为点灯或熄灯之构成者。图式简单说明:第1图系172nm的光的强度与800nm-1000nm光谱的光强度积分値之相对关系曲线图。第2图系本发明一实施例的,具备光强度测定装置的紫外线照射装置之概略构成图。第3图系装在灯罩内的氙准分子灯之构成图。第4图系一实施例中的,在200nm-1000nm范围的氙准分子灯之光谱特性图。(A)是未使用光学滤光片时,(B)是使用光学滤光片时的情形。第5图系按照本发明所构成的,具备点灯检测装置的紫外线照射装置之概略构成图。 |
