| 摘要 |
在第一态样中，提供了一个用于处理晶圆的模组，此模组包含具有一个或更多个特征的处理埠，这些特征可以包含例如(1)可转动晶圆支持器，系用于转动输入晶圆由第一定向转动到第二定向，在第一定向上的晶圆系对齐于负载埠，到了第二定向上的晶圆系对齐于卸载埠；(2)捕获器，系用于接触并在晶圆由处理埠卸载时，与晶圆一起被动地移动；(3)一被围体围绕的输出埠，系用于产生一个流动的空气气流，由一侧流到另一侧；(4)一输出埠，具有多数个晶圆接收器；(5)没入的液体喷嘴；以及/或者(6)乾燥蒸气流变流装置等其它态样则包含晶圆之处理方法 |
