| 主权项 |
1.一种塑胶容器里面碳膜形成用装置,其具备:被处理物的塑胶容器被插入时,具有包围其外周之大小的有底圆筒状外部电极;于上述外部电极内的上述塑胶容器里在长度方向的大约全长被插入的内部电极;为排除上述外部电极内的气体的气体排除手段;被连接在上述内部电极,在其内部电极施加高高频电力的高高频电力电源;连接在上述外部电极,在其外部电极施加偏压的偏压用电源;上述内部电极为有底圆筒状并且兼有引进从供给方法所供给的媒介气体引进流路的构造,且其底部或者由底部至被插入上述塑胶容器内的长度的25%的范围内的侧面领域或者在其两者穿设有为将上述媒介气体吹出的贯穿孔。2.根据申请专利范围第1项之塑胶容器里面碳膜形成用装置,其中上述高高频电源,通过匹配器及电力供应部被连接在上述内部电极,且上述偏压用电源通过匹配器及电力供应部被连接在上述外部电极。3.根据申请专利范围第1项之塑胶容器里面碳膜形成用装置,其中上述内部电极内的中空部份,设有绝缘体以防止于该中空部份产生电浆。4.根据申请专利范围第1项之塑胶容器里面碳膜形成用装置,其中上述内部电极,穿设有1或2个以上的多数上述贯穿孔。5.根据申请专利范围第2项之塑胶容器里面碳膜形成用装置,其中在上述电力供应部周围配置有接地遮护板。6.一种里面披覆有碳膜之塑胶容器之制造方法,其系于以包含下列工序而制造里面披覆有碳膜之塑胶容器时:(a)以包围被处理物的塑胶容器外围之方式,而将其插入有底圆筒状外部电极内之工序,(b)将有底筒状,且具有兼有媒介气体引进流路的构造的内部电极,在上述塑胶容器的长度方向的大约全长上插入塑胶容器内部之工序,(c)使用排气手段将上述外部电极内的气体加以排气,且藉由气体供应手段将媒介气体供应至上述内部电极,由该内部电极在上述塑胶容器内吹出媒介气体之工序,及(d)藉由以偏压用电源施加偏压电压于上述外部电极的同时,以高高频电源施加高高频电力于上述内部电极,而在其内部电极的周围在生成电浆,将上述媒介气体解离,将上述媒介气体通过于上述内部电极的底部或者由底部至被插入上述塑胶容器内的长度的25%的范围内的侧面领域或者在其两者穿设之贯穿孔,将上述媒介气体供应至上述塑胶容器内,通过上述塑胶容器的嘴部及内部电极的间隙排气,于该流通过程中藉由上述电浆使上述媒介气体离解。7.根据申请专利范围第6项之里面披覆有碳膜之塑胶容器之制造方法,其中由上述偏压用电源施加偏压电压于上述外部电极之际,将匹配器介于该等电源及外部电极之间,且使偏压频率数为电浆角频率数以下。图式简单说明:图1系表示关于本发明的第1个实施形态的塑胶容器里面碳膜形成用装置的概略立体图。图2A、图2B、图2C系表示被装入图1的碳膜形成装置的内部电极之图。图3A、图3B、图3C系表示用在比较例子1的内部电极之图。图4A、图4B、图4C系表示关于本发明的第2个实施形态的的内部电极之图。图5系表示连接关于本发明的第3实施形态的内部电极的电力供应部的概略图。图6系表示连接关于本发明的第3实施形态的偏压用电源的匹配器的电路图。图7系表示往先前的塑胶容器里面碳膜形成用装置的剖面图。图8系表示气体压力偏压电压与披覆速度关系之图。图9系表示气体压力偏压电压与拉曼光谱D/G比关系之图。图10系表示气体压力偏压电力与披覆速度关系之图。图11系表示气体压力偏压电力与拉曼光谱D/G比关系之图。 |
