IMPRINT METHOD IMPRINT APPARATUS AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD

摘要

본 발명의 임프린트 방법은, 기판 상의 샷 상에 형성된 얼라인먼트 마크를 검출하는 검출기의 위치를 변경하는 단계와; 기판 상의 샷 상으로 공급된 임프린트 재료와 몰드 상에 형성된 패턴을 접촉시키는 단계와; 검출기의 위치의 변경의 완료 후에 검출기를 사용하여 얼라인먼트 마크를 검출하는 단계를 포함한다. 여기에서, 접촉 단계는 검출기의 위치의 변경의 완료 전에 개시된다.