| 摘要 |
本发明所揭示者系如何修正一电晶体使之具有既定临界值之方法。根据本方法，在备制电晶体之闸极13后，根据该闸极备制的程度调整后续步骤所执行之灯泡退火步骤21的氧气浓度以修正显示电晶体特性之临界电压Vth。再者，本发明揭示一种制造具有既定临界电压值之电晶体的方法。根据本方法，在电晶体闸极13的备制过程后便预测或测量显示电晶体特性的临界电压Vth。当临界电压偏离既定值时，便在后续制造电晶体之灯泡退火步骤21中调整氧气浓度，如此便可将临界值设定为其既定值，不至于因为闸氧化物膜受到损害而使其可靠性降低，且不须额外增加其他制程步骤。 |
