发明名称 半导体记忆装置
摘要 本发明系提供一种半导体记忆装置之相关技术,其系具备下列元件而构成:半导体基板11;闸极绝缘膜12,其系形成于该半导体基板11上;单一的闸极电极13,其系形成于该闸极绝缘膜12上;2个电荷保持部61、62,其系位于该闸极电极13侧壁的两侧;源极/汲极区域17、18,其系分别对应于该电荷保持部61、62;以及通道区域,其系配置于单一的闸极电极13下。据此,而将2个之电荷保持部61、62所担任之记忆体功能和闸极绝缘膜12所担任之电晶体动作功能予以分离,而具有充分之记忆体功能,并能使闸极绝缘膜12薄膜化,而易于控制短通道效应。此外,形成于闸极电极13的两侧之2个电荷保持部61、62,因为系以闸极电极13而予以分离,故能有效地抑制改写时之干涉情形。进而藉由适当地设定闸极电极13的电压、一方之扩散层区域17的电压、以及另一方之扩散层区域18的电压,即能选择性地将电洞或电子注入于一方之扩散层区域18侧的电荷保持部62。因此,能提供一种可进行2位元动作,且易于细微化之半导体记忆装置。
申请公布号 TW200402872 申请公布日期 2004.02.16
申请号 TW092104662 申请日期 2003.03.05
申请人 夏普股份有限公司 发明人 岩田浩;柴田晃秀
分类号 H01L27/10 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 日本
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