用于在静电晶圆箝位保留冷却气体之电极结构

摘要

一种用于半导体晶圆之静电箝位之设备。该设备系包含：一个介电质元件，该介电质元件系界定用于容置一个半导体晶圆之箝位表面；及两个电极，该两个电极系包含：一个设置于该箝位表面之周缘之上或者接近该箝位表面之周缘的第一电极，以及一个设置于该第一电极之向内方向处的第二电极。该第一电极及该第二电极系具有可变宽度，该些可变宽度系形成沿着该第一及第二电极之相邻侧之交叉指形突出物。该些交叉指形突出物系限制该晶圆于其外缘处或者接近其外缘处之弯曲，且因而加强该半导体晶圆及该箝位表面之间该冷却气体之保留。