摘要 |
积层型压电元件2具有一元件本体10,由压电层8与内部电极层4、6相互积层而得,其中压电层8系由压电磁器所构成,该压电磁器具有钙钛矿(perovskite)构造之复合氧化物,该复合氧化物至少包含铅、锆以及钛。本发明之积层型压电元件2的制造方法系具有下述工程:使用具有1μm以下的累积90%粒子径的至少包含有铅、锆以及钛的各化合物之原料混合物,而制作压电层用的陶瓷生胚板(ceramicgreensheets)的工程;将该压电层用的陶瓷生胚板与内部电极层用前驱体层相互积层而形成烧结前元件本体的工程;以及以1100℃以下温度烧结上述烧结前元件本体而形成元件本体10的工程。根据本方法,压电特性几乎不会劣化,而能够制造具有内部电极以及利用便宜金属的压电磁器所构成的压电层8之积层型压电元件2。 |