光阻供应系统及方法

摘要

一种光阻供应系统包含一储存槽以及一贮存器，且储存槽系连接至贮存器。一真空泵系连接至贮存器以于贮存器产生真空状态，用以吸取光阻由储存瓶流出并流入至贮存器。一进入贮存器的入口系使光阻沿着贮存器的一内壁流动。此光阻系流出贮存器并流入一配料贮存器，且此光阻系被泵汲取至一配料喷嘴以应用于一晶圆或基底。