电浆处理系统及方法

摘要

提供一种电浆处理系统及与一电浆处理系统结合之诊断系统的操作方法。该诊断系统与该电浆处理系统之一电浆处理室连接，且包含一用来侦测电浆制程状况之诊断感应器。该诊断系统用来实质上降低该诊断感应器之污染。该方法包含实质上降低该诊断感应器之污染，以及侦测在处理室中电浆制程及／或基板的状况。