发明名称 负载埠装置及使用该装置的方法
摘要 一种负载埠装置被用来适应一种前开放一体式纵槽的内部具有一种前开放一体式纵槽门。该装置包括平台,一种外罩,一种负载埠门,一种负载埠门密封垫和一个适应系统。该前开放一体式纵槽平台接收该前开放一体式纵槽。该外罩包括一个第二膛开口。此外罩被装配来密闭的接合前开放一体式纵槽。该负载埠门包括一种前开放一体式纵槽门的机械装置入口,其用来开启前开放一体式纵槽。此负载埠门在一种开启的位置和一种关闭的位置之间是可移动的。当负载埠门在关闭位置时,该负载埠门密封垫选择性的密闭第二膛开口。当该负载埠门在关闭位置,该负载埠门密封垫被密闭,和该前开放一体式纵槽门被开启时,该适应系统与用来适应一个微型环境膛之开口的联系被限定为该负载埠门,该密封垫,该开口,和前开放一体式纵槽内部。一种方法也被公开。
申请公布号 TW200416775 申请公布日期 2004.09.01
申请号 TW092119301 申请日期 2003.07.15
申请人 艾斯摩股份有限公司 发明人 杰佛瑞 科威斯基
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 美国