| 摘要 |
本发明是提供维持着抛光布用修整器的稳定的修整性，在抛光布表面创造出均匀的抛光面，尤其是消除脱粒为起因的抛光布所导致晶圆刮痕的抛光布用修整器及其制造方法。支架1的表面形成有修整部所构成的抛光布用修整器，其修整部是以多数个研磨粒2和保持研磨粒的平板状保持材3所形成。该保持材3为超硬合金、金属陶瓷或陶瓷的任一种所形成。又，含矽的保持材3也可以添加二氧化矽。并且，制造上述抛光布用修整器的方法是在保持材表面或放置其上的薄片上，对应规则性排列的各研磨粒2的保持位置，设置大致研磨粒径尺寸的黏着部，在此分别黏着研磨粒2之后烧结上述保持材固定研磨粒。 |
