| 摘要 |
Способ газоразрядного напыления пленок, в котором получение напыляемого материала, его транспортировка и осаждение на поверхность осуществляются в разряде, отличающийся тем, что с помощью высоковольтных импульсов напряжения с длительностью импульсов на полувысоте, не превышающей десятков наносекунд, и длительностью фронта, не превышающей нескольких наносекунд, формируется разряд, инициируемый пучком электронов лавин в плотных газовых средах в промежутке между высоковольтным распыляемым электродом с малым радиусом кривизны и электропроводящей поверхностью для напыления, на которую одновременно воздействуют электронный пучок, ударная волна, ультрафиолетовое и вакуумное ультрафиолетовое излучения плазмы, сопровождающие разряд. |
