发明名称 | 一种二甲苯气敏材料、二甲苯气敏器件及其制备方法 | ||
摘要 | 本发明属于半导体气敏元件技术领域,具体涉及了一种二甲苯气敏材料、二甲苯气敏器件及其制备方法。所述二甲苯气敏材料为Fe<sub>2</sub>(MoO<sub>4</sub>)<sub>3</sub>纳米粉体,所述Fe<sub>2</sub>(MoO<sub>4</sub>)<sub>3</sub>纳米粉体的粒径为10~80nm。本发明制作的二甲苯气敏传感器件具有对二甲苯气体高度敏感的检测功能,对100ppm浓度的二甲苯气体灵敏度在10‑20,最低检测浓度小于50ppm,可用于大气中二甲苯有害物质的安全检测;并且本发明制作的二甲苯气敏传感器件具有较高的选择性,对乙醇,甲苯的灵敏度较低,只对二甲苯具有较高灵敏。 | ||
申请公布号 | CN106198647A | 申请公布日期 | 2016.12.07 |
申请号 | CN201610580286.4 | 申请日期 | 2016.07.22 |
申请人 | 武汉工程大学 | 发明人 | 林志东;朱春花;付萍;陈喆 |
分类号 | G01N27/12(2006.01)I | 主分类号 | G01N27/12(2006.01)I |
代理机构 | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人 | 崔友明;徐晓琴 |
主权项 | 一种二甲苯气敏材料,其特征在于,所述二甲苯气敏材料为Fe<sub>2</sub>(MoO<sub>4</sub>)<sub>3</sub>纳米粉体,所述Fe<sub>2</sub>(MoO<sub>4</sub>)<sub>3</sub>纳米粉体的粒径为10~80nm。 | ||
地址 | 430074 湖北省武汉市洪山区雄楚大街693号 |