光谱扫描测试装置及其测试方法

摘要

本发明公开了一种光谱扫描测试装置，包括：用于向待测样品提供一预定温度的测试环境的制冷样品室；设置于制冷样品室中且用于承载待测样品的样品台，其以预定数量级的位移精度进行移动；至少包括显微镜及激光光源的显微光路系统，其中，激光光源发出的激光经由显微镜传递至待测样品，以产生激发光谱；用于接收并测试激发光谱的光谱测试系统。该测试装置为实现待测样品在最低温度为4K下的微结构光谱扫描测试提供了可能性。本发明还公开了上述测试装置的测试方法，包括步骤：待测样品置于制冷样品室中的样品台上进行制冷；激光光源发射的激光经由显微镜传递至待测样品，以产生激发光谱；光谱测试系统接收并测试激发光谱。

主权项

一种光谱扫描测试装置，其特征在于，包括：制冷样品室，用于向待测样品提供一预定温度的测试环境；样品台，设置于所述制冷样品室中且用于承载所述待测样品，所述样品台以预定数量级的位移精度进行移动；显微光路系统，至少包括显微镜及激光光源，其中，所述激光光源发出的激光经由所述显微镜传递至承载于所述样品台上的所述待测样品，以激发所述待测样品产生激发光谱；光谱测试系统，用于接收并测试所述激发光谱。