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发明名称 DEVICE FOR THE PRECISE POTITIONING OF AN OBJECT INTRODUCED THROUGH AN AIRLOCK INTO A VACUUM TIGHT ENCLOSURE
摘要
申请公布号 GB1447096(A) 申请公布日期 1976.08.25
申请号 GB19730047405 申请日期 1973.10.10
申请人 THOMSON CSF 发明人
分类号 H01J37/317;B25J7/00;C23C14/50;C23C14/56;H01L21/265;H01L21/68;(IPC1-7):B25J11/00 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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