Mehrschichtiges Röntgenquellentarget mit hoher Wärmeleitfähigkeit

摘要

In verschiedenen Ausführungsformen ist ein mehrschichtiges Röntgenquellentarget geschaffen, das zwei oder mehrere Schichten eines Targetmaterials in unterschiedlichen Tiefen und mit unterschiedlichen Dicken aufweist. In einer derartigen Ausführungsform nimmt die Dicke der röntgenerzeugenden Schichten im Verhältnis zu ihrer Tiefe in Bezug auf die dem Elektronenstrahl zugewandte Oberfläche des Quellentargets zu, so dass die röntgenerzeugenden Schichten, die sich von dieser Oberfläche weiter entfernt befinden, dicker sind als röntgenerzeugende Schichten, die sich näher an der dem Elektronenstrahl zugewandten Oberfläche befinden.