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发明名称 METHOD OF MAKING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS522291(A) 申请公布日期 1977.01.08
申请号 JP19750077656 申请日期 1975.06.24
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YUKIMOTO YOSHINORI
分类号 H01L21/76;H01L21/265 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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