| 发明名称 |
MANUFACTURING PROCESS OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5227382(A) |
申请公布日期 |
1977.03.01 |
| 申请号 |
JP19750103012 |
申请日期 |
1975.08.27 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ITOU TATSU;SUGAWARA KATSUO;YAMADA KOUICHIROU;YAMADA KOUHEI |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/20;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/329;H01L21/331;H01L29/08 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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