| 发明名称 |
HEAD FOR MEASURING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52117078(A) |
申请公布日期 |
1977.10.01 |
| 申请号 |
JP19760033947 |
申请日期 |
1976.03.27 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
AIDA AKIRA;HANAYAMA SHINICHI |
| 分类号 |
G01R31/26;H01L21/66;H05K13/00 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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