| 发明名称 |
MINUTELY PROCESSING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5311845(A) |
申请公布日期 |
1978.02.02 |
| 申请号 |
JP19760086723 |
申请日期 |
1976.07.20 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
TOMII KAORU;MIYAMA HIROSHI |
| 分类号 |
C23F1/00;C23F1/02;G03F1/00;G03F1/72;H01L21/302;H01L21/3065;H05K3/06 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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