| 发明名称 |
GAS CHANGING METHOD AND ITS DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5378764(A) |
申请公布日期 |
1978.07.12 |
| 申请号 |
JP19760154193 |
申请日期 |
1976.12.23 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
OGASAWARA KAZUTO;KIYONO TSUTOMU |
| 分类号 |
C30B25/14;C30B31/16;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/22 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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