发明名称 STRUCTURE OF PROJECTION ELECTRODE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54131867(A) 申请公布日期 1979.10.13
申请号 JP19780039440 申请日期 1978.04.04
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 KOMATSUBARA YOSHIAKI
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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