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Elemento fungible para bombardeo con partículas y procedimiento de determinación de grabado de dicho elemento. Elemento fungible (1) provisto de un blanco (2) para bombardeo con partículas destinado a realizar deposición física de capa delgada en fase vapor sobre un sustrato (3), comprendiendo el elemento fungible (1) una capa de base (4) sobre la que está depositado el blanco (2), estando el blanco destinado a ser pulverizado por el bombardeo con partículas, en el que el blanco está constituido por al menos una capa (21) en la que se define una pluralidad de zonas (xi, yi) con espesor promedio (ei(xi, yi)) variable entre las zonas (xi, yi), estando los espesores promedio (ei(xi, yi)) de cada zona (xi, yi) dimensionados para que, en unas condiciones de bombardeo determinadas, todas las zonas (xi, yi) tengan un tiempo de pulverización iónica idéntico (ti). La invención también se refiere a un conjunto de dispositivo de bombardeo con partículas (5) y elemento fungible (1) y a un procedimiento para la obtención del fungible (1). |
