| 发明名称 |
PHOTOELECTRIC ELEMENT FOR DETECTING AND POSITIONING REGISTER MARK FOR ENGRAVING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5533146(A) |
申请公布日期 |
1980.03.08 |
| 申请号 |
JP19780106534 |
申请日期 |
1978.08.30 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG |
发明人 |
ONO YOSHIO;NISHIKAWA YUKIO |
| 分类号 |
G01B11/00;G01B11/27;G03F9/00;G05D3/16 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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