发明名称 PREPARATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5538066(A) 申请公布日期 1980.03.17
申请号 JP19780111893 申请日期 1978.09.12
申请人 CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 TANIGUCHI KENJI
分类号 H01L29/94;H01L21/316;H01L29/93 主分类号 H01L29/94
代理机构 代理人
主权项
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