发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS55110070(A) |
申请公布日期 |
1980.08.25 |
申请号 |
JP19790016492 |
申请日期 |
1979.02.15 |
申请人 |
NIPPON ELECTRIC CO |
发明人 |
MITAKE KENJIROU;TAMEDA MASATO |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/316;H01L21/331;H01L21/8234;H01L27/06;H01L29/72 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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