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发明名称 RECTANGULAR TARGET PLATE
摘要
申请公布号 GB8305958(D0) 申请公布日期 1983.04.07
申请号 GB19830005958 申请日期 1983.03.03
申请人 BALZERS AG 发明人
分类号 C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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