发明名称 PLAQUE CIBLE RECTANGULAIRE POUR DES INSTALLATIONS DE PULVERISATION CATHODIQUE
摘要 <P>PLAQUE CIBLE RECTANGULAIRE 1 POUR DES INSTALLATIONS DE PULVERISATION CATHODIQUE QUI COMPORTE UNE RAINURE 4, MUNIE D'EVIDEMENTS 5 AU FOND, SUIVANT UNE LIGNE MEDIANE, DU COTE DE LA SURFACE QUI DOIT ETRE PULVERISEE; ELLE PEUT ETRE FIXEE SUR UNE PLAQUE DE BASE REFROIDIE AU MOYEN D'UN RAIL 6 PLACE DANS LA RAINURE, ET ON OBTIENT DE CE FAIT UN CONTACT THERMIQUE FIABLE; LA PROFONDEUR DE LA RAINURE DOIT ETRE TELLE QUE LE RAIL NE RESSORTE PAS PAR RAPPORT AU PLAN DE PULVERISATION.</P>
申请公布号 FR2523599(A1) 申请公布日期 1983.09.23
申请号 FR19830004631 申请日期 1983.03.22
申请人 BALZERS AG 发明人 HANS QUADERER
分类号 C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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