发明名称 RADIATION-SENSITIVE NEGATIVE RESIST
摘要
申请公布号 EP0051320(B1) 申请公布日期 1986.06.04
申请号 EP19810109526 申请日期 1981.11.05
申请人 NEC CORPORATION 发明人 OHNISHI, YOSHITAKE;ENDO, TAKESHI, PROF.
分类号 G03F7/038;(IPC1-7):G03F7/10 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人
主权项
地址