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发明名称 A POSITIVE RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP0085761(B1) 申请公布日期 1986.08.20
申请号 EP19820110822 申请日期 1982.11.23
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CLECAK, NICHOLAS JEFFRIES;MCKEAN, DENNIS RICHARD;MILLER, ROBERT DENNIS;TOMPKINS, TERRY CADY;TWIEG, ROBERT JAMES;WILLSON, CARLTON GRANT
分类号 C08L61/00;G03C1/72;C08L61/04;G03F7/022;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/08 主分类号 C08L61/00
代理机构 代理人
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