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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN VON FORMTEILEN DURCH KATODENZERSTAEUBUNG.
摘要
申请公布号 CH657381(A5) 申请公布日期 1986.08.29
申请号 CH19820000752 申请日期 1982.02.08
申请人 LEYBOLD-HERAEUS GMBH 发明人 MUENZ, WOLF-DIETER, DR.-PHIL.;HESSBERGER, GERHARD
分类号 C23C14/34;B65G49/07;C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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