| 发明名称 |
PLASMA ETCHING APPARATUS AND METHOD INCLUDING END POINT DETECTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0086816(B1) |
申请公布日期 |
1987.01.28 |
| 申请号 |
EP19820902662 |
申请日期 |
1982.08.02 |
| 申请人 |
NCR CORPORATION |
发明人 |
COE, MARY ELLEN BURROUGHS |
| 分类号 |
H01L21/302;H01J37/32;(IPC1-7):H01L21/302;C03C15/00 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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