| 发明名称 |
PRODUCTION OF HARD CARBON FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6311671(A) |
申请公布日期 |
1988.01.19 |
| 申请号 |
JP19860155811 |
申请日期 |
1986.07.02 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
HARADA KEIZO;DOI AKIRA;FUJIMORI NAOHARU;IMAI TAKAHIRO |
| 分类号 |
C23C16/26;C01B31/06;C23C16/27;C23C16/50;G03G5/08;G03G5/14;G03G5/147;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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