发明名称 DISCRIMINATING METHOD FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS6369217(A) 申请公布日期 1988.03.29
申请号 JP19860213205 申请日期 1986.09.10
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MACHIDA AKIRA
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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