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发明名称 METHOD FOR REPAIR OF BURIED CONTACTS IN MOSFET DEVICES
摘要
申请公布号 EP0155311(B1) 申请公布日期 1988.04.13
申请号 EP19840903505 申请日期 1984.08.15
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人 SHIELDS, STEVEN, E.;ROBINSON, DAVID, A.
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/74;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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