MICRO-CAPTEUR A TECHNOLOGIE INTEGREE POUR LA DETECTION DE LA PRESENCE DE CERTAINS GAZ

摘要

CE MICRO-CAPTEUR INTEGRE COMPREND UN ELEMENT DE DETECTION 5 FORME D'UN MATERIAU SNO PAR EXEMPLE PORTE A UNE TEMPERATURE BIEN DEFINIE ET DONT LA RESISTIVITE VARIE EN PRESENCE DU GAZ A DETECTER. UN ELEMENT DE CHAUFFAGE 8 EST DEFINI EN DESSOUS DE L'ELEMENT DE DETECTION 5 ET CONSTITUE AVEC CE DERNIER UN ENSEMBLE QUI N'EST RELIE A UN CADRE DE SUPPORT EN SILICIUM 1 QUE PAR L'INTERMEDIAIRE D'UN OU PLUSIEURS BRAS 3, 4. CES BRAS SONT DELIMITES PAR DES EVIDEMENTS 13 QUI PEUVENT TRAVERSER LE CAPTEUR DE PART EN PART, ET ISOLER AINSI THERMIQUEMENT L'ENSEMBLE DE DETECTION 2 DU CADRE ENVIRONNANT.